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配管的準備工作
(1)無論多大壓力、何種介質及何種用途的配管，下料時均不得采用氧、乙i炔焰切割。無論是機械或手工下料，分段處不得涂抹油脂或使用潤滑劑。
(2)管子切口應當與管軸線嚴格垂直，切口表面平整，不得有裂紋、毛刺。
(3)各種閥門應在安裝前清洗，清洗前先應研磨、試壓合格，然后拆成零部件，并在ccl4溶劑中浸泡1~1.5h。安全閥清洗后應當重新試壓。
(4)波紋管等無法拆解成零部件的閥門，應在組裝的情況下清洗。對清洗的效果可用下法檢查:從閥門入口處注入清洗溶劑，并使溶劑流經閥門各處，閥門流出的溶劑過濾后用顯微鏡檢查過濾器表面情況是否符合設計要求。
(5)采用普通不銹鋼管時，其表面若粘附有油污，安裝后清洗十分困難，應當將原管放入清洗槽內清洗。管道內壁的酸洗工作，必須保證清除掉的銹蝕部分而不損害未銹蝕的表面。
(6)氧氣管路的閥門、附件等，應當嚴格禁油，并在安裝前按有關要求嚴格脫脂。
3.金屬管道的連接
(1)管道材質。用于輸送高純氣體的金屬管道材質主要有:
1)低碳不銹鋼。大流量高純、高潔凈氣體原則上全部采用低碳不銹鋼管。
2)銅管。在半導體企業中，個別生產工藝如gaas的操作，氣體管道安裝怎么樣，為了防止產生器件電阻，昆山氣體管道安裝，不允許使用銅制管路及其附件，氣體管道安裝性能，只能使用不銹鋼材料。
高純氣體管道配管
所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設備用點(pou)，為了達到工藝對氣體的質量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統的材料選用和施工質量。除取決于制氣或凈化設備的精度外，在很大程度上受到管路系統諸多因素的影響，因此，管材的選取應恪守相關行業原則，并在圖紙中注明管道材質。
管路的材質則依使用的需求進行選擇，若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316l ep管，經電解拋光(electro-polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠低于經過光輝燒結(bright anneal)處理之316l ba管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316l ba管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體，如gn2、cda。管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經特殊處理的ap管(annealing amp; picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。
實驗室氣體的危險性：
1、有部分氣體具有易i燃、易i爆、*、強腐蝕等特性，其一旦泄漏，就可能會對工作人員及儀器設備造成傷害；
2、多種氣體在同一個環境下使用，如果有兩種會發生燃燒或爆i炸等強烈化學反應的氣體同時泄漏，就可能對工作人員以及儀器設備造成傷害；
4、多數氣瓶出口壓力可達15mpa，即150公斤/cm2，如果發生氣瓶口減壓裝置失靈，就有可能將一些部件激i射出去，其能量對*或設備都具有致命性的傷害。
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