NE-PE80F納恩科技80L真空等離子清洗活化機

設備主要技術參數 1) 外形尺寸（約）:l1200×w1100×h1850（mm） 外觀噴塑處理
2) 反應倉尺寸：不銹鋼 w450mm×h400mm×d470mm
3)電源：主系統電源:380×(1±10%)v(ac) 50hz～60hz 三相五線
4）等離子體頻率：13.56mhz
5）射頻電源功率：（0～600）w可調
6）設備功率：≤4kw
7)控制方式：采用包括觸摸屏人機界面的 plc控制，操作方式包括自動模式和手動模式。在自動模式下將不同工藝參數按照配方方式管理， 可同時存儲 100組不同的配方。使用時只需要將相應配方號調出即可。設備參數分級管理，設備操作員、工藝人員、維護人員使用不同口令管理不同參數，提高設備安全性。手動模式用于實驗工藝以及設備維護維修。
8)mfc質量流量控制
氣體流量：(0～200)ml/min（標況下）
9)工作氣體(氧、氬等)接口壓力：≤0.45mpa
10）壓縮空氣（啟動氣動角閥）接口壓力：0.5mpa
11）凈化冷卻氣體（氮氣）接口壓力：0.45mpa
12）設備工作節拍：單次清洗時間≤8min（清洗時間 6min，具體以實際清洗時間為準）
13）工作真空度：30～150pa
14）反應倉工作溫度：30~60℃
15)極板數量：水平電極板≥8 層，極板間任意組合