晶片的雙層CVD石墨烯薄膜4片裝
基于sio2/si晶片的雙層cvd石墨烯薄膜
將兩層單層cvd石墨烯膜轉移 到285nm p摻雜的sio 2 / si晶片上
尺寸:1cmx1cm; 4片
將每個石墨烯膜連續轉移到晶片上
我們的石墨烯薄膜的厚度和質量由拉曼光譜控制
該產品的石墨烯覆蓋率約為98%
石墨烯薄膜是連續的,具有小孔和有機殘留物
每個石墨烯薄膜主要是單層(超過95%),偶爾有少量多層(低于5%的雙層)
由于沒有a-b堆疊順序。石墨烯薄膜彼此隨機取向。
薄層電阻:215-700ω/平方
硅/二氧化硅晶圓的特性:
氧化層厚度:285nm
顏色:紫羅蘭色
晶圓厚度:525微米
電阻率:0.001-0.005歐姆 - 厘米
型號/摻雜劑:p /硼
方向:lt;100gt;
前表面:拋光
背面:蝕刻
應用:
石墨烯電子和晶體管
導電涂料
航空航天工業應用
支持金屬催化劑
微執行器
mems和nems
化學和生物傳感器
基于石墨烯的多功能材料
石墨烯研究